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大型等離子清洗機(jī)

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大型等離子清洗機(jī)

V1000/1000X1000XS

大型等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
能有針對(duì)性的制作一些特殊電極，提高生產(chǎn)效率。
高可靠性RF電源，高精度調(diào)諧裝置。

大型等離子清洗機(jī)用途:
硅晶圓的灰化及蝕刻IC封裝、BGA/CSP基板處理電子半導(dǎo)體零部件和電子材料的干式清洗物體表面氧化物和有機(jī)物的除去鍍膜、烤漆前的清洗，增強(qiáng)膜層的附著力
 

大型等離子清洗機(jī)規(guī)格：
 
型號(hào)V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIEDP/RIE
振動(dòng)頻率13.56MHz
反應(yīng)氣體聚合控制器2系統(tǒng)（充填氣路另行安裝）
安全裝置門(mén)開(kāi)關(guān)、側(cè)板互鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)
輸出功率1000W1000W1500W
有效尺寸(W×D)280×280mm300×300mm400×375mm
油回旋真空泵670&1000L/min670&1500L/min1000&1500L/min



上一個(gè)： 等離子灰化機(jī)
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